电容传感器中一些量的变化范围在变极间距离的电容传感器中，由于减小极间距离可以提高灵敏度，多用来测量微米级的位移，一般极板间距离不超过1mm，位移量应限制在间距的1/10范围内;在变极板工作面积的传感器中，可以测量厘米级的位移。在电容传感器中，正确选择电容的大小是很重要的。合理的设计既可以使传感器满足测量范围的要求，又可以提高灵敏度，减小非线性误差。一般其电容的变化在103pf～104pf范围内，相对值δc/c的变化则在10-6～1范围内。分布电容的影响问题
电容传感器一个很关键的问题是分布电容电容量与传感器电容量相比不仅不能忽略，而且影响还极其严重，其后果是造成传输效率降低、灵敏度下降、测量误差增加及稳定性变差。近几年来，对此问题有了新的解决途径。其中“整体屏蔽法”就是一例，以差动电容传感器为例，说明整体屏蔽法，在下图中，cx1、cx2为差动电容，u为电源，a为放大器，整体屏蔽法是把整个电桥(包含电源电缆等)一起屏蔽起来，设计的关键点在于接地点的合理设置。
在一个用电容传感器进行物位检测的应用中，物料的有无电容变化为30 pf左右，传感器基本电容为1 000 pf，环境影响引起的电容变化为0～200 pf，利用比较电容法检测δcx，准确地拾取到了有用信号。
电容量cx的采数软件框图如图3所示，用mcs51汇编语言编写。采用单片机系统，不仅可以测量cx和δcx，而且可使应用该传感器的系统实现智能化，采集软件可以作为整个系统的一个子程序来调用。
在传感器连接至变送器（555振荡器）时，采用双芯屏蔽线，芯线a连至传感器电容的正极板，作为信号引线；芯线b连至尽量靠近传感器，其本身的导线电容等构成比较电容；屏蔽线连至传感器电容的负极板（一般为接地极）。芯线a、b通过模拟多路开关连至振荡器。工作时控制多路开关分别接通芯线a或芯线b，测量得到某一时刻的ca、cb，且ca=cx ca′、cb=cb′（cx为传感器感应电容，电容间隙传感器，ca′、cb′为芯线a、b对应的导线电容、分布电容等），由于芯线a、b完全在同一个环境里，故ca′=cb′，计算ca－cb=cx，即得到不同时刻的cx，也就能算得δc了。
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