每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的a级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
空气洁净度等级标准及规范
经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(gbj73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(jgj71-90)以指导施工和验收的重要文件。该规范在重新修订中。
•gbj73-84规定的洁净度等级
等级 每立方米(升)空气中≥0.5μm尘粒数 每立方米(升)空气中≥5μm尘粒数
100 ≤35*100 (3.5)
1000 ≤35*1000(35) ≤250(0.25)
10000 ≤35*10000(350) ≤2500(2.5)
100000 ≤35*100000(500) ≤25000(25)
•标准fs209e中的洁净等级
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13681566750
中国 沧州